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無塵室的構成是由下列各項系統所組成(在所組成的系統分子中是缺一不可的)，否則將無法構成一完整且品質良好的無塵室:

⑴天花板系統

包括吊桿(Ceiling rod)、綱梁(I-Beam或U-Beam)、天花板格子梁(Ceiling grid或Ceilingframe)。

⑵空調系統

包括空氣艙、過濾器系統、風車等。

⑶隔墻板(Partitional wall)

包括窗戶、門。

⑷地板

包括高架地板或防靜電地板、以及環氧自流平及滾涂地面。

⑸照明器具

包括日光燈、黃色燈管等。

⑹無塵室之建筑主體構造

一般是用鋼筋或骨水泥，但無論是何種構造，必須滿足如下之條件:

A.不會因溫度變化與振動而發生裂痕;

B.不易產生微塵粒子，且很難附著粒子;

C.吸濕性小;

D.為了維持室內之濕度條件，熱絕緣性要高;